№

Наименование параметра

Значение

1

Внешний вид

прозрачная жидкость красно-коричневого цвета без осадка

2

Относительная скорость фильтрации фоторезиста, отн. ед., не более

2

3

Массовая доля воды, %, не более

0,6

4

Массовая доля сухого остатка, %, в пределах

19,0-22,0

5

Массовая доля нафтохинондиазидных групп в пересчете на сухой остаток, %, в пределах

11,5-15,0

6

Кинематическая вязкость при (20±0,5)°С, в пределах

6,0-6,5

7

Внешний вид пленки фоторезиста

прозрачная, блестящая без разрывов

8

Разрешающая способность (минимальная ширина воспроизводимого элемента), мкм

2,0±0,3

9

Толщина пленки, мкм

1,1±0,1

10

Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, с, не менее

180

11

Маскирующие свойства пленки фоторезиста в буферном травителе, проколов/мм², не более

0,10